การเซาะร่องเชิงเส้นที่มีความแม่นยำสูงทำได้ด้วยคมตัดระดับที่เล็กที่สุดในโลก
- เครื่องมือเซาะร่องสี่เหลี่ยมที่มีความกว้างของคมตัดเล็กเพียง 3 μm ร่องที่มีอัตราส่วนกว้างยาวสูงไม่สามารถทำได้โดยวิธีโฟโตลิโทกราฟีและลำแสงไอออนสามารถสร้างขึ้นได้ภายในระยะเวลาอันสั้น
- คมตัดที่แม่นยำและทนทานมากทำให้เครื่องมือนี้เหมาะสำหรับการเซาะร่องละเอียดพิเศษเชิงเส้นของตะแกรงโฮโลแกรม และการเซาะร่องที่ละเอียดและชัดเจนเป็นพิเศษของแผ่นนำแสง LCD
ลักษณะเฉพาะ
- ความแม่นยำของมิติ ±0.5 μm คือระดับสูงสุดของโลก คมตัดที่แม่นยำและทนทานสูง