สามารถทำการเซาะร่องละเอียดพิเศษแบบโค้งฟรีในกลุ่มที่เล็กที่สุดในโลกได้
- ดอกเอ็นมิลล์ที่สามารถตัดเฉือนร่องสี่เหลี่ยมที่มีความกว้าง 30 μm ด้วยเส้นโค้งอิสระ ร่องที่มีอัตราส่วนกว้างยาวสูงซึ่งไม่สามารถทำได้โดยวิธีโฟโตลิโทกราฟีและลำแสงไอออนสามารถกลึงให้เป็นรูปทรงที่มีขอบคมได้ภายในระยะเวลาอันสั้น
ลักษณะเฉพาะ
- การเซาะร่องที่มีอัตราส่วนภาพสูง
- สามารถร่องลึกได้ 2.5 เท่าของเส้นผ่านศูนย์กลางการหมุน คมตัดที่แม่นยำและทนทานสูง