VISION MEASURING SYSTEMS ADVANCE NON-CONTACT DIMENSIONAL MEASURING TECHNOLOGY
การผลักดันให้เกิดเทคโนโลยีขนาดเล็กกว่าที่เคยเป็น เป็นปัจจัยสำคัญที่ทำให้เกิดความก้าวหน้าทางด้านเทคโนโลยีการตรวจวัดด้วยแสง ซึ่งเทคโนโลยีนี้ได้รับการพัฒนาทั้งทางด้านความเร็วและผลลัพธ์ในการตรวจวัดที่เหนือกว่า การพัฒนาทางด้านการขยายความละเอียดในการตรวจวัดที่มากขึ้น ผลที่ได้รับนั่นคือความละเอียดแม่นยำในการตรวจวัดที่ดีกว่าแม้ในสภาวะการทำงานต่อเนื่องเป็นเวลานาน พัฒนาวิธีการส่งลำแสง การลดเสียงของแหล่งกำเนิดคลื่นแสง และเพิ่มค่ารูรับแสงให้สูงขึ้น ด้วยการพัฒนาเหล่านี้สามารถแก้ไขคุณภาพและปัญหาการสูญหายของรูปถ่ายที่เกิดขึ้นในระดับไมครอนได้เป็นอย่างดี การพัฒนาเหล่านี้เป้นสิ่งที่มิตูโตโย ผู้นำทางด้านเครื่องมือวัดความละเอียดสูงชั้นนำของโลก ได้มีการพัฒนาความสามารถในการตรวจวัดให้มีความละเอียดสูงสุดในระดับนาโนในรูปแบบที่เรียกว่าVision-sensing technology
Vision-sensing technology
ซึ่งจะประกอบไปด้วย 5 เทคโนโลยีนั่นคือ
- Confocal Technology เป็นเทคโนโลยีการตรวจวัดแบบจุดที่กระจายไปตามระนาบพื้นที่ที่ทำการตรวจวัดและสะท้อนรังสีกลับมายังตัวรับ ซึ่งจะให้ความละเอียดในการตรวจวัดที่สูงในการสแกนพื้นที่ขนาดเล็กแต่ใช้
เวลาในการสแกนสูงกว่า - White light interferometry (WLI)เป็นวิธีการวัดโครงสร้าง 3 มิติบนผิวชิ้นงานในรูปแบบอิสระได้อย่างหลากหลาย โดยมีความละเอียดประมาณช่วง 1-10 นาโนเมตร วิธีนี้มีจุดเด่นนั่นคือสามารถสแกนชิ้นงานแนวตั้งได้ที่ความละเอียดสูงและสามารถเลือกสแกนได้ทั้งระนาบหรือสแกนที่จุดเดียวได้
- Camera Technologies เป็นเทคโนโลยีเฉพาะเพื่อการตรวจจับภาพ 3 มิติความเร็วสูง ด้วยระบบ Points from Focus (PFF) ที่ให้ความละเอียดในการตรวจวัดที่ 50 นาโนเมตร แต่ด้วยความเร็วสูงในการทำงานจึงเหมาะสมกับงานที่ไม่ต้องอาศัยความละเอียดสูงมากนัก
- Structured illuminationถือเป็นเทคโนโลยีที่ได้รับการพัฒนาขึ้นล่าสุดในการเพิ่มขีดความสามารถการวัดที่ความละเอียดสูงกว่าและให้ความเร็วในการจับภาพสูงที่มีอยู่ในปัจจุบัน ระบบการจัดการข้อมูลการวัดมาประมวลผลได้ทันทีโดยไม่ก่อให้เกิดการค้างคาของข้อมูลจำนวนมากในระหว่างการตรวจวัด
- Scanning lasers (single point) เป็นเทคโนโลยีที่สามารถใช้ในการตรวจสอบพื้นผิวที่มีการกระแทกหรือสั่นสะเทือนได้ เทคโนโลยีนี้ถูกนำมาใช้เพื่อการสแกนชิ้นส่วนเพื่อวิศวกรรมย้อนกลับโดยจำทำการสแกนทุกจุดของชิ้นงานเพื่อนำไปสร้างโมเดล CAD ต่อไป
- กล้อง CCD ขยายภาพด้วยระบบเลนส์ และประมวลผลด้วยการจับรูปทรงของชิ้นงาน โดยมีหัว Probe เป็นอุปกรณ์เสริม ซึ่งทำให้สามารถตรวจวัดได้อย่างครอบคุลมทุกจุดของชิ้นงานด้วย 3 High Intensity LED Light Sources และระบบ Image Auto Focus
- ใช้งานง่าย โดยฟังก์ชั่นระดับพื้นฐาน (Easy Mode) ที่สามารถเลือกบริเวณที่ต้องการตรวจวัดได้เพียงคลิกเดียว ไปจนถึงระดับสูง (Programming mode) ที่สามารถวิเคราะห์เปรียบเทียบการตรวจวัดกับไฟล์ต้นแบบ และจำลองข้อมูลในรูปแบบกราฟฟิคได้ตามต้องการ
- เหมาะกับงานที่ต้องการกำลังขยายได้ตั้งแต่ 0.5 -7 เท่า เพิ่มความหลากหลายในการตรวจวัดชิ้นงานประเภทต่างๆ